分辨率 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30x~60,000x 

加速电压

1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

图像检测

二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

观察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统

 自动或者手动

载物台移动

3轴（X，Y，R）或5轴（X，Y，R，Z，T）

图像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

样品尺寸

高度30mm时直径70mm

图像扫描

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

图像存储格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

真空系统

 全自动型/高真空模式+低真空模式

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间：2分钟以内

操控系统

 鼠标和键盘

PC：台式电脑（Desk Top）      

软件

 图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 105kg

设备环境 

 温度：15℃~30℃
   湿度：70% or less

  电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz